Вы искали: ионно-плазменные технологии

Научно-учебный комплекс "Энергомашиностроение"

Сегодня факультет "Энергомашиностроение" обладает мощной интеллектуальной и материальной базой для подготовки специалистов в самых разных областях современного энергомашиностроения - от криогеники, вакуумной и плазменной техники до ракетных двигателей, атомного машиностроения и турбиностроения.

Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой.

1