Вы искали: микросистемная техника

Тестовые задачи по технологии микромеханических гироскопов и акселерометров

Изложены технологические задачи, часто встречающиеся в практике изготовления микромеханических приборов - гироскопов и акселерометров. Даны необходимые для решения задач теоретические сведения.

Технология микросистемной техники. Часть 1. Методы микрообработки

Рассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем.

Введение в микросистемную технику

Микросистемная техника - активно развивающееся направление, создающее функционально законченные нано- и микроразмерные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям.

1