Вы искали: фотолитография

Конструкторско-технологическое проектирование электронной аппаратуры (2-е издание)

Изложены общие принципы организации проектирования электронной аппаратуры различного назначения, рассмотрены задачи конструкторского и технологического проектирования: обеспечение надежной работы аппаратуры, правила конструирования, технологические процессы формообразования, изготовление коммутационных плат, сборки и монтажа, наладки и испытания. Во втором издании (1-е - 2002 г.) уточнены некоторые данные по техническим характеристикам материалов и технологических процессов. Приведенные в приложении примеры документов помогут студенту в разработке конструкторско-технологической документации при курсовом и дипломном проектировании.

Технология микросистемной техники. Часть 1. Методы микрообработки

Рассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем.

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др.

1