Издания автора: Цветков Ю.Б.

Процессы и оборудование микротехнологии. Модули 1 и 2

Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии — изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».

Физические основы микро- и нанотехнологий

Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий.

Разработка и оформление учебных изданий

Приведена характеристика учебных изданий, рассмотрены их основные виды, сформулированы предметно-функциональные требования к учебным изданиям различного вида, показано их единство в рамках учебно-методического комплекса дисциплины. Процесс разработки учебных изданий описан в виде алгоритма, рассмотрены функциональные элементы и структура учебного издания. Даны рекомендации по работе автора над учебным изданием, включая анализ содержания текста, табличных, иллюстративных и дидактических материалов. Рассмотрены основные этапы подготовки авторского оригинала учебного издания: составление плана-проспекта учебного издания, рецензирование и оценка рукописи, оформление электронной версии авторского оригинала, представление рукописи в Издательство МГТУ им. Н.Э. Баумана.

1