Издания автора: Михайлов В.П.

Физические основы микро- и нанотехнологий

Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий.

Исследование параметров механизмов микро- и наноперемещений

Приведены материалы для освоения методов оценки точности прецизионных механизмов микро- и наноперемещений в режиме позиционирования, а также методов тестирования активных демпферов для компенсации возмущающих вибрационных воздействий на исследовательское и технологическое оборудование. Особое внимание уделено исследованию перспективных приводов на основе магнито- и электрореологических жидкостей и демпферов на базе магнитореологических эластомеров. В целях более глубокого изучения процессов позиционирования в микро- и нанодиапазоне, закрепления навыков экспериментальной работы и статистической обработки результатов предложены вопросы для самоконтроля.

1