Издания автора: Скороходов Е.А.

Испытания на надежность технических систем

Посвящено практическим методам статистической оценки надежности. Рассмотрены вопросы планирования контрольных и определительных испытаний на безотказность и долговечность. Приведены примеры планирования с использованием программы математического моделирования MATLAB. Даны подробные инструкции по выполнению практических заданий.

Наноматериалы для радиоэлектронных средств. Часть 1. Подготовка сканирующего туннельного микроскопа к диагностике и модификации наноматериалов

В данные методические указания включены лабораторные работы, посвященные экспериментальным исследованиям с помощью сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) характеристик наноматериалов, перспективных для радиоэлектронных средств. В первой части изучается подготовка СТМ к модификации (диагностике) наноматериалов с помощью СТМ.

Нанотехнологические процессы самоорганизации наноструктур и наносборки радиоэлектронных систем

Рассмотрены процессы изготовления наноструктур различных размерностей с помощью их самоорганизации и наносборки, описаны процессы самосборки 2D-наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и 0D-наноструктур (наночастиц). Приведены основные понятия и описаны процедуры, необходимые для экспериментального и теоретического изучения процессов самоорганизации наноструктур, применяемых в нанотехнологиях.

Формирование гетероструктур наноприборов методом молекулярно-лучевой эпитаксии

Настоящее издание соответствует учебной программе курса "Специальные технологические методы в нанотехнологии". Рассматриваются методы выращивания 2D-наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и OD-наноструктур (наночастиц) с помощью молекулярно-лучевой эпитаксии для их применения в наноприборах радиоэлектронных систем.

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др.

Технологическая оптимизация микроэлектронных устройств СВЧ

Содержит основы теории технологической оптимизации микроэлектронных устройств СВЧ, систематизированные процедуры статистического моделирования, проведения оптимизации, схемы процессов технологической оптимизации, примеры их выполнения с указанием последовательности использования расчетных зависимостей, а также методические рекомендации и необходимую справочную информацию.

1