Издания автора: Дронов Н.Н.

Технологические процессы микроэлектроники

Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине "Технологические процессы микроэлектроники", выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве.

1