Издания автора: Миронов Ю.М.

Проведение научных экспериментов в наноинженерии

Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники.

1