Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды

Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды
А.М. Базиненков, А.Т. Каменихин
  • Год:
    2017
  • Тип издания:
    Методические указания
  • Объем:
    64 стр. / 4 п.л
  • Формат:
    60x90/16
  • ISBN:
    978-5-7038-4675-9
  • Читать Online

Ключевые слова: вакуумные насосы, вакуумные системы, лабораторная работа, манометры, метод постоянного объема, средства измерения давления, средства откачки

Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования - средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема.

Для студентов, обучающихся по специальностям "Электроника и наноэлектроника", "Наноинженерия" в МГТУ им. Н.Э. Баумана.

СОДЕРЖАНИЕ
Теоретическая подготовка
Понятие вакуума. Характеристики вакуумных систем
Методы создания вакуумной технологической среды
Вакуумные насосы для создания разряжения в технологических камерах
Практические занятия
Лабораторная работа № 1. "Вакуумные насосы"
1.1. Конструкция и принцип действия насосов
1.2. Порядок выполнения лабораторной работы
Лабораторная работа № 2. "Измерение вакуума"
2.1. Принципы измерения вакуума и типы манометров
2.2. Описание экспериментального вакуумного стенда
2.3. Порядок выполнения лабораторной работы
Лабораторная работа № 3. "Измерение быстроты откачки методом постоянного объема"
3.1. Метод постоянного объема
3.2. Описание экспериментального вакуумного стенда
3.3. Порядок выполнения лабораторной работы
Техника безопасности при выполнении лабораторных работ
Система оценивания качества выполненной работы
Приложение. Формы отчетов по лабораторным работам

Авторы работы: Базиненков Алексей Михайлович, Каменихин Анатолий Тимофеевич