Введение в микросистемную технику

Введение в микросистемную технику
О.С. Нарайкин, К.Г. Потловский, В.В. Холевин
  • Год:
    2011
  • Тип издания:
    Учебное пособие
  • Объем:
    52 стр. / 2.79 п.л
  • Формат:
    60x84/16
  • ISBN:
  • Читать Online

Ключевые слова: EFAB-технология, LECVD, LIGA-технология, MEMS, PECVD, microelectromechanical systems, microsystems technology, МЭМС, микроприводы, микросистемная техника, микростереолитография, микрофлюидика, микроэлектромеханические системы, нанотехнологии, термоокисление, травление

Микросистемная техника - активно развивающееся направление, создающее функционально законченные нано- и микроразмерные устройства, характеристики которых кардинальным образом отличаются от характеристик устройств аналогичного назначения, созданных по традиционным технологиям.

Учебное пособие содержит сведения о физических принципах функционирования электромеханических систем и об основных технологиях их производства. Приведены примеры использования микроэлектромеханических систем в различной аппаратуре как бытового, так и специального назначения.

Для студентов, изучающих курс "Микросистемная техника".

ОГЛАВЛЕНИЕ
1. Принципы функционирования и особенности проектирования МЭМС
2. Конструкционные материалы
2.1. Термическое окисление
2.2. Химическое осаждение из газовой фазы
2.3. Физическое осаждение
2.4. Электрохимическое осаждение
3. Технологии микромеханики
3.1. Глубинное объемное травление
3.2. Анизотропное жидкостное травление
3.3. Сухое травление
3.4. Технология поверхностной механики
3.5. LIGA-технология
3.6. Соединение пластин
3.7. Электронно-лучевая литография
3.8. Микростереолитография
4. Датчики и исполнительные устройства
4.1. Датчики давления
4.2. Акселерометры
4.3. Микроприводы
4.4. Линейные приводы
4.5. Термоприводы
4.6. Электродвигатели
4.7. Оптические компоненты
4.8. Микрофлюидика
4.9. Клапаны
4.10. Микрореакторы и смесители
4.11. Портативные силовые установки

Авторы работы: Нарайкин О.С., Потловский К.Г., Холевин В.В.