Физические основы микро- и нанотехнологий

Физические основы микро- и нанотехнологий
Под редакцией Ю.Б. Цветкова
  • Год:
    2009
  • Тип издания:
    Учебное пособие
  • Объем:
    176 стр. / 10.17 п.л
  • Формат:
    60x84/16
  • ISBN:
    978-5-7038-3319-3
  • Читать Online

Ключевые слова: Фурье-преобразования, атомарные потоки, высокочастотная плазма, газоразрядная плазма, зрачковые функции, изображающие системы, ионные потоки, кривые Пашена, микролитография, микрорельеф, микротехнологии, молекулярные потоки, нанотехнологии, скалярная теория дифракции, теплообмен излучением, теплопроводность, физика вакуума, формирование микроизображений, электронные потоки

Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий.

Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности "Электронное машиностроение".

ОГЛАВЛЕНИЕ
1. Вакуум - рабочая среда для микро- и нанотехнологий
1.1. Основные положения физики вакуума
1.2. Физические процессы при вакуумной откачке
2. Теплопередача
2.1. Теплопередача теплопроводностью
2.2. Теплообмен излучением
2.3. Теория теплопередачи и ее использование для анализа физических процессов различной природы
3. Формирование потоков частиц
3.1. Формирование электронных потоков
3.2. Формирование ионных потоков
3.3. Формирование атомарных и молекулярных потоков
4. Взаимодействие потоков частиц с материалами
4.1. Взаимодействие электронных и ионных потоков с материалами
4.2. Взаимодействие ионных потоков с материалами
5. Формирование газоразрядной плазмы и ее взаимодействие с материалами
5.1. Параметры газоразрядной плазмы
5.2. Кривые Пашена
5.3. Высокочастотная плазма
6. Формирование оптического излучения
6.1. Формирование микрорельефа в резисте
6.2. Системы экспонирования
6.3. Основы теории формирования микроизображений
6.4. Скалярная теория дифракции
7. Проекционное формирование микроизображений
7.1. Качество проекционного изображения
7.2. Понятие изображающей системы
7.3. Связь между объектом и изображением
7.4. Свертка
7.5. Фурье-преобразования в оптике
7.6. Оптическая передаточная функция
7.7. Зрачковая функция и ее связь с оптической передаточной функцией
7.8. Связь комплексной амплитуды изображения со зрачковой функцией
7.9. Оптическая передаточная функция как автокорреляция зрачковой функции
7.10. Системы дифракционного качества с постоянным пропусканием по площади зрачка
7.11. Учет распределения интенсивности в изображении

Авторы работы: Бычков С.П., Михайлов В.П., Панфилов Ю.В., Цветков Ю.Б.