Лазеры в микроэлектронике

Лазеры в микроэлектронике
И.Е. Малов, И.Н. Шиганов
  • Год:
    2012
  • Тип издания:
    Учебное пособие
  • Объем:
    76 стр. / 4.42 п.л
  • Формат:
    60x84/16
  • ISBN:
  • Читать Online

Ключевые слова: аналоговая запись, динамическая балансировка, лазерная литография, лазерная обработка, лазерная подгонка, лазерное легирование, лазерное напыление, микродвигатель, микромаркировка, микроэлектроника, обработка полупроводников, осаждение пленок, отжиг, перекристаллизация, пленочный конденсатор, пленочный резистор, размерная обработка, стабилизация параметров, фотохимический катализ, цифровая запись

Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных лазерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка полупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в полупроводниках, модифицирование и изменение химического состава поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов.

Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов; вопросам лазерной литографии, записи информации.

Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности "Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов".

ОГЛАВЛЕНИЕ
1. Лазерная обработка полупроводников с целью рекристаллизации и отжига
1.1. Поглощение лазерного излучения полупроводниками и диэлектриками
1.2. Лазерный отжиг имплантированных слоев
1.3. Лазерное напыление тонких пленок в вакууме
1.4. Осаждение пленок из газовой фазы
1.5. Осаждение пленок из растворов и фотохимический катализ
1.6. Лазерное легирование поверхности полупроводников
2. Технологические процессы лазерной обработки пленок и деталей в микроэлектронике
2.1. Общие сведения
2.2. Физические основы лазерной обработки пленок
2.3. Подгонка электрических параметров пленочных элементов
2.4. Размерная обработка тонких пленок
3. Прочие процессы лазерной обработки пленок
3.1. Микромаркировка пленочных элементов
3.2. Маркировка полупроводниковых пластин
3.3. Цифровая запись информации и изображений на тонких пленках
3.4. Аналоговая запись информации и изображений на тонких пленках
3.5. Динамическая балансировка деталей микродвигателей
4. Лазерные установки для обработки пленок
4.1. Лазеры для обработки пленок
4.2. Лазерные подгоночные установки
4.3. Лазерные установки для размерной обработки пленок

Авторы работы: Малов И.Е., Шиганов Игорь Николаевич