Молекулярные потоки в высоковакуумных системах

Молекулярные потоки в высоковакуумных системах
К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь
  • Год:
    2013
  • Тип издания:
    Учебное пособие
  • Объем:
    108 стр. / 6.28 п.л
  • Формат:
    60x84/16
  • ISBN:
    978-5-7038-3675-0
  • Читать Online

Ключевые слова: высокий вакуум, высоковакуумные системы, метод Монте-Карло, метод пробной частицы, метод угловых коэффициентов, моделирование, молекулярный поток, откачная характеристика, система откачки, течение газа

Приведены основные методы расчета распределения плотности молекулярных потоков по поверхностям вакуумных установок. Исследованы основные методы моделирования вакуумных условий с заданной плотностью молекулярных потоков.

На примерах рассмотрен расчет распределения плотности молекулярных потоков по поверхностям вакуумных установок стандартных геометрических форм методами угловых коэффициентов и методом Монте-Карло (метод пробной частицы).

Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки "Технологические машины и оборудование".

ОГЛАВЛЕНИЕ
1. Расчетные схемы распределения молекулярных потоков по поверхностям камеры и изделия
2. Методы расчета распределения плотности молекулярных потоков в высоковакуумных установках
3. Расчет распределений плотностей молекулярных потоков по поверхностям вакуумных систем в высоком вакууме
3.1. Угловой коэффициент между элементарными площадками, расположенными на полосках с параллельными образующими
3.2. Угловой коэффициент между элементарной полоской и плоской поверхностью с параллельными образующими
3.3. Расчет распределений плотностей молекулярных потоков по поверхностям вакуумных систем
3.4. Неравномерность распределения плотности молекулярных потоков по поверхности вакуумной полости при напуске газа извне
3.5. Равномерное распределение молекулярных потоков по поверхности вакуумной полости
4. Моделирование распределения плотности молекулярных потоков методом статистических испытаний (метод Монте-Карло)
4.1. Оценка точности метода пробной частицы
4.2. Генерирование случайных величин с заданным законом распределения
4.3. Примеры расчета течения газа в цилиндрическом канале
4.4. Примеры расчета течения газа в прямоугольной щели
4.5. Моделирование течения газа в подвижном канале
5. Определение откачных характеристик элементов вакуумной системы
6. Схемные решения компоновки систем откачки

Авторы работы: Демихов К.Е., Никулин Н.К., Свичкарь Е.В.