Технология микросистемной техники. Часть 1. Методы микрообработки

Технология микросистемной техники. Часть 1. Методы микрообработки
О.С. Нарайкин, В.В. Холевин, И.И. Данилов, В.А. Шалаев
  • Год:
    2010
  • Тип издания:
    Учебное пособие
  • Объем:
    40 стр. / 2.33 п.л
  • Формат:
    60x84/16
  • ISBN:
  • Читать Online

Ключевые слова: LIGA, MEMS, MOEMS, MST, аддитивные материалы, анодное соединение, жидкостное травление, кристаллографический индекс, микрообработка, микросистемная техника, плазменное осаждение, подложки, термоокисление, фотолитография

Рассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем.

Для студентов 5-6-го курсов приборостроительных специальностей.

ОГЛАВЛЕНИЕ
1. Вводная часть
2. Материалы для микрообработки
2.1. Подложки
2.2. Аддитивные пленки и материалы
3. Фотолитография
4. Объемная микрообработка
4.1. Особенности обработки
4.2. Изотропное и анизотропное (направленное) жидкостное травление
4.3. Травление с барьерным слоем
5. Поверхностная микрообработка
6. Технология LIGA
7. Соединение слоев внутри микросистемы
7.1. Анодное соединение
7.2. Соединение с помощью вспомогательного слоя
7.3. Прямое соединение

Авторы работы: Нарайкин О.С., Холевин В.В., Данилов И.И., Шалаев В.А.