Технологические процессы микроэлектроники

Технологические процессы микроэлектроники
Н.Н. Дронов, В.В. Макарчук, Н.В. Макушина
  • Год:
    2016
  • Тип издания:
    Методические указания
  • Объем:
    24 стр. / 1.5 п.л
  • Формат:
    60x90/16
  • ISBN:
    978-5-7038-4358-1
  • Читать Online

Ключевые слова: диоды, интегральные микросхемы, кремниевые пластины, лабораторная работа, литографические процессы, матричные кристаллы, микроэлектроника, топологические слои, транзисторы, фотошаблоны

Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине "Технологические процессы микроэлектроники", выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве.

Для студентов, обучающихся по специальности "Проектирование и технология производства электронной аппаратуры", а также других специальностей факультета "Информатика и системы управления", подготовка которых предусматривает изучение дисциплин, связанных с технологиями микроэлектроники.

СОДЕРЖАНИЕ
Лабораторная работа № 1. Анализ топологии полупроводниковой интегральной микросхемы
Лабораторная работа № 2. Базовый матричный кристалл. Анализ состава и размещения элементов
Лабораторная работа № 3. Исследование точности совмещения фотошаблонов

Авторы работы: Дронов Н.Н., Макарчук В.В., Макушина Н.В.