Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus

Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus
А.А. Глушко
  • Год:
    2015
  • Тип издания:
    Методические указания
  • Объем:
    64 стр. / 4 п.л
  • Формат:
    60x90/16
  • ISBN:
    978-5-7038-4177-8
  • Читать Online

Ключевые слова: Sdevice, Sentaurus Workbench, TCAD, TCL, интегральные микросхемы, лабораторная работа, приборно-технологическое моделирование, транзисторы, формирование полупроводниковых структур

Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux.

Для студентов, обучающихся по специальности "Проектирование и технология производства электронной аппаратуры".

СОДЕРЖАНИЕ
1. Конструкция МОП-транзистора и его электрические характеристики
2. Маршрут формирования одиночного МОП-транзистора
3. Структура системы TCAD
4. Среда Sentaurus Workbench и параметры процесса моделирования
5. Подготовка исходных данных и моделирование процесса формирования полупроводниковых структур
6. Подготовка исходных данных для подсистемы моделирования электрических характеристик Sdevice
7. Особенности моделирования электрических характеристик в подсистеме Sdevice
8. Разработка программных модулей с использованием средств TCL
9. Разработка программных управляющих модулей с использованием средств TCL
Лабораторная работа № 1. Моделирование процесса формирования структур в TCAD Sentaurus
Лабораторная работа № 2. Параметры Sentaurus Workbench и их использование при моделировании процессов формирования структуры
Лабораторная работа № 3. Моделирование электрических характеристик МОП-транзисторов
Лабораторная работа № 4. Разработка программных модулей на языке TCL
Лабораторная работа № 5. Обработка электрических характеристик и разработка управляющих модулей на языке TCL

Авторы работы: Глушко Андрей Александрович