Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение

Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение
Д.В. Духопельников
  • Год:
    2014
  • Тип издания:
    Учебное пособие
  • Объем:
    55 стр. / 3.26 п.л
  • Формат:
    60x84/16
  • ISBN:
    978-5-7038-3798-6
  • Читать Online

Ключевые слова: МРС-100ЭМ, ионно-плазменные технологии, магнетронная распылительная система, нанесение покрытий, нанесение тонких пленок, наноструктурированные покрытия, устройство магнетронного распыления

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой.

Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности "Плазменные энергетические установки", а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.

ОГЛАВЛЕНИЕ
1. Общие сведения о магнетронных распылительных системах
2. Устройство, принцип работы, основные характеристики и конструктивные схемы магнетронных распылительных систем
3. Физические процессы в разряде и на катоде магнетронной распылительной системы
4. Особенности технологических процессов в магнетронных распылительных системах
5. Импульсные магнетронные распылительные системы
6. Распыление магнитных материалов
7. Конструкция магнетронной распылительной системы МРС-100ЭМ

Авторы работы: Духопельников Д.В.