Расчет, конструирование и изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов

Расчет, конструирование и изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов
С.Б. Одиноков, Г.Р. Сагателян, М.С. Ковалев
  • Год:
    2014
  • Тип издания:
    Учебное пособие
  • Объем:
    124 стр. / 7.21 п.л
  • Формат:
    60x84/16
  • ISBN:
    978-5-7038-4000-9
  • Читать Online

Ключевые слова: голограммные элементы, дифракционные элементы, металлорезист, оптические элементы, плазма, полимеризация, травление, фоторезист, фотошаблоны, электронорезист

Изложены современные методы создания дифракционных и голограммных оптических элементов. Особое внимание уделено технологическим процессам их изготовления с применением методов плазмохимического травления оптических стекол.

Для студентов специальности "Электронные и оптико-электронные приборы и системы специального назначения" по направлению подготовки "Лазерная техника и лазерные технологии", изучающих курс "Прикладная оптика".

ОГЛАВЛЕНИЕ
Глава 1. Разновидности дифракционных и голограммных оптических элементов
Глава 2. Расчет дифракционных и голограммных оптических элементов
Глава 3. Конструирование дифракционных и голограммных оптических элементов
Глава 4. Изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов
4.1. Технологические процессы изготовления ДГОЭ
4.2. Нанесение металлорезиста
4.3. Нанесение фото- и электронорезистов
4.4. Электронно-лучевая литография
4.5. Изготовление фотошаблонов
4.6. Экспонирование фото- и электронорезистов
4.7. Проявление фото- и электронорезистов
4.8. Травление металлорезиста
4.9. Сухое травление оптического стекла
Глава 5. Теория и практика плазмохимического травления для изготовления дифракционных и голограммных оптических элементов
5.1. Процессы при плазмохимическом травлении
5.2. Полимеризация при плазмохимическом травлении
5.3. Выходные параметры процесса плазмохимического травления стекла
5.4. Эксплуатационные характеристики фазовых ДГОЭ

Авторы работы: Одиноков С.Б., Сагателян Г.Р., Ковалев М.С.